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Impact of Sn segregation on Ge1−xSnx epi-layers growth by RP-CVD

D. Weißhaupt, P. Jahandar, G. Colston, P. Allred, J. Schulze, und M. Myronov. 2017 40th International Convention on Information and Communication Technology, Electronics and Microelectronics (MIPRO), Seite 43-47. IEEE, (2017)
DOI: 10.23919/MIPRO.2017.7973388

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