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Novel process integration flow of germanium-on-silicon FinFETs for low-power technologies

S. Choudhary, M. Yogesh, D. Schwarz, H. Funk, S. Ghosh, S. Sharma, J. Schulze, und K. Gonsalves. 41 (5): 052203 (2023)
DOI: 10.1116/6.0002767

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