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Efficiency Enhancement of Microstructuring on Sputtered Glass and Polymer Substrates using Maskless Lithography and Lift-Off

D. Boya, R. Vornweg, F. Janek, T. Guenther, und A. Zimmermann. (September 2023)

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Florian Weiss

PD Dr. -Ing. Florian Bauer University of Stuttgart

Florian Helber University of Stuttgart

Florian Seibold University of Stuttgart

Florian Reichelt University of Stuttgart

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