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Low-power DRAM-compatible Replacement Gate High-k/Metal Gate stacks.

R. Ritzenthaler, T. Schram, E. Bury, J. Mitard, L. Ragnarsson, G. Groeseneken, N. Horiguchi, A. Thean, A. Spessot, C. Caillat, V. Srividya, und P. Fazan. ESSDERC, Seite 242-245. IEEE, (2012)

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Dr. phil. Guido Isekenmeier University of Stuttgart

Univ. -Prof. Dr. Guido Schneider University of Stuttgart

Univ. -Prof. Dr. Guido Schmitz University of Stuttgart

Dr. Guido Reina University of Stuttgart

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