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High quality LTPS CMOS TFTs produced with a five mask process and only one ion implantation step

P. Schalberger, H. Baur, S. Kohlenbecker, E. Persidis, und N. Fruehauf. ITC'07 in conjunction with SID-Mid Europe Chapter Spring Meeting, January 2007, Rom, Session 3.5, pages 52-55, (2007)

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Jan-Philipp Negel

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none

Alexander Naubert

Rodion Novkin University of Stuttgart

Dr. phil. Michael Nerurkar University of Stuttgart

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