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Piezoresistive low-pressure sensor with high sensitivity and accuracy

, und . Transducers '89 : proceedings of the 5th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Eurosensors III, Volume 2 von Sensors and actuators. A, Physical, Seite 142-145. Lausanne, Elsevier Sequoia, (1990)
DOI: 10.1016/0924-4247(90)85027-2

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