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Effects of pupil discretization and Littrow illumination in the simulation of bright-field defect detection

S. Rafler, M. Petschow, U. Seifert, K. Frenner, J. Göckeritz, und W. Osten. Optics Letters, 34 (12): 1840--1842 (2009)
DOI: 10.1364/OL.34.001840

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Dr. -Ing. Karsten Frenner University of Stuttgart

K. Stahl

K. Lindow

K. Gaiser

Grzegorz K. Karch

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