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Micro cantilever probe array integrated with Piezoresistive sensor.

Z. Yang, X. Li, Y. Wang, H. Bao, und M. Liu. Microelectronics Journal, 35 (5): 479-483 (2004)

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Xiliu Yang University of Stuttgart

Yang Wang University of Stuttgart

Guangpu Yang University of Stuttgart

Hsiu-Yu Yang University of Stuttgart

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