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Micro cantilever probe array integrated with Piezoresistive sensor.

Z. Yang, X. Li, Y. Wang, H. Bao, und M. Liu. Microelectronics Journal, 35 (5): 479-483 (2004)

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Dr. Xinxin Jing University of Stuttgart

M.Sc. Yunxuan Li University of Stuttgart

Yu Li University of Stuttgart

Zheng Li University of Stuttgart

Jie Li University of Stuttgart

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