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Co-Optimization of Circuits, Layout and Lithography for Predictive Technology Scaling Beyond Gratings.

T. Jhaveri, V. Rovner, L. Liebmann, L. Pileggi, A. Strojwas, und J. Hibbeler. IEEE Trans. on CAD of Integrated Circuits and Systems, 29 (4): 509-527 (2010)

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