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Traceable Reference Full Metrology Chain for Innovative Aspheric and Freeform Optical Surfaces Accurate at the Nanometer Level

Y. Arezki, R. Su, V. Heikkinen, F. Leprete, P. Posta, Y. Bitou, C. Schober, C. Mehdi-Souzani, B. Alzahrani, X. Zhang, Y. Kondo, C. Pruß, V. Ledl, N. Anwer, M. Bouazizi, R. Leach, und H. Nouira. Sensors, 21 (4): 1103 (2021)
DOI: 10.3390/s21041103

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