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Mode-Split MEMS Gyroscopes Under Bending Stress: Detection Mode Coupling and the Relation to Cross-Axis Sensitivity

W. Mayer, B. Kuhlmann, A. Guerrieri, T. Hiller, und A. Zimmermann. IEEE sensors letters, 9 (2): 1500504 (2024)
DOI: 10.1109/LSENS.2024.3507212

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