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Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation

J. Seybold, A. Buelau, K. Fritz, A. Zimmermann, A. Frank, C. Scherjon, and J. Burghartz. MikroSystemTechnik Kongress 2021, page 716-718. VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik, VDE Verlag GmbH, (November 2021)

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