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Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation

J. Seybold, A. Bülau, K. Fritz, A. Zimmermann, A. Frank, C. Scherjon, and J. Burghartz. MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen : Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte, page 716-718. Berlin, VDE Verlag, (2021)

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