%0 Conference Paper %1 seybold2021miniaturisierter %A Seybold, Jonathan %A Bülau, André %A Fritz, Karl-Peter %A Zimmermann, André %A Frank, Alexander %A Scherjon, Cor %A Burghartz, Joachim %B MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen : Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte %C Berlin %D 2021 %I VDE Verlag %K %P 716-718 %T Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation %U https://www.vde-verlag.de/proceedings-de/455656186.html %@ 978-3-8007-5656-8 and 978-3-8007-5657-5

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