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Application of parallel capacitor for force transferring in resonant micro accelerometer.

W. Zhou, W. Su, X. He, B. Li, und L. Chen. NEMS, Seite 479-482. IEEE, (2010)

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Li-Wei Chen University of Stuttgart

M.Sc. Yunxuan Li University of Stuttgart

Yu Li University of Stuttgart

Zheng Li University of Stuttgart

Jie Li University of Stuttgart

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