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Cylindrical inertial electrostatic confinement plasma source for surface treatment

D. Tiedemann, P. Hofmann, J. Emmerlich, Y. Chan, S. Ulrich, G. Herdrich, und M. Müller. Vacuum, 193 (November): 110502 (2021)
DOI: 10.1016/j.vacuum.2021.110502

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