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Tip-tilt-piston piezoelectric micromirror with folded PZT unimorph actuators.

W. Liao, W. Liu, Y. Tang, B. Wang, und H. Xie. NEMS, Seite 969-972. IEEE, (2013)

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Dexing Liu University of Stuttgart

Jan Liu University of Stuttgart

M.Sc. Zhuoran Liu University of Stuttgart

Yanchao Liu University of Stuttgart

Shuang Liu University of Stuttgart

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