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Nanoscale measurement of in-plane and out-of-plane displacements of microscopic object by sensor fusion

A. Singh, G. Pedrini, X. Peng, und W. Osten. Optical engineering, 55 (12): 121722 (2016)
DOI: 10.1117/1.OE.55.12.121722

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Xiang Hao University of Stuttgart

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