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Operational behaviour of the inductively-heated plasma generator IPG6-B for scientific applications

J. Schmidt, R. Laufer, T. Hyde, und G. Herdrich. Vacuum, (2020)
DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109338

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PD Dr. -Ing. Georg Heinrich Herdrich University of Stuttgart

Dr. Ilche Georgievski University of Stuttgart

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Prof. Dr. Hans-Georg Kemper

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