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A Bi-Directional Out-of-Plane Actuator by Electrostatic Force.

H. Ren, W. Wang, F. Tao, und J. Yao. Micromachines, 4 (4): 431-443 (2013)

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Jun Chen University of Stuttgart

Dr. Jun Chen University of Stuttgart

Yao Wang University of Stuttgart

Mathias Jung University of Stuttgart

Jong Hyun Jung University of Stuttgart

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