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Model-based approach for planning and evaluation of confocal measurements of rough surfaces

F. Mauch, und W. Osten. Measurement Science and Technology, 25 (10): 105002 (August 2014)
DOI: 10.1088/0957-0233/25/10/105002

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Prof. Dr. Wolfgang Osten University of Stuttgart

Tim W{\"{u}}rtele

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