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Development of functional sub-100 nm structures with 3D two-photon polymerization technique and optical methods for characterization

V. Ferreras Paz, M. Emons, K. Obata, A. Ovsianikov, S. Peterhänsel, K. Frenner, C. Reinhardt, B. Chichkov, U. Morgner, und W. Osten. Journal of Laser Applications, (Juli 2012)
DOI: 10.2351/1.4712151

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