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Herstellung von Mikrostrukturen in SiC-Gleitringen mit Excimerlaser

J. Arnold, G. Müller, H. Schneider, H. Müller, und H. Hügel. Laser und Optoelektronik, 25 (6): 66–70 (1993)103.

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H. Binz

H. Bungartz

H. Binz

H. Binz

Prof. Dr. Georg Schneider University of Stuttgart

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