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A High-sensitivity, Small-size Resonant Pressure Microsensor Based on Optimized Resonator-diaphragm Structure.

Y. Lu, S. Zhang, Y. Li, B. Xie, D. Chen, J. Wang, und J. Chen. NEMS, Seite 488-491. IEEE, (2019)

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Shuai Zhang University of Stuttgart

Guanhua Zhang University of Stuttgart

Tatiana Senkova University of Stuttgart

Ph. D. Gennaro Senatore University of Stuttgart

Ute Sengle University of Stuttgart

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