%0 Journal Article %1 Kern2021 %A Schilling, A. %A Ninz, P. %A Petillon, S. %A Weser, S. %A Knöller, A. %A Eberhardt, W. %A Günther, T. %A Kern, F. %A Zimmermann, A. %D 2021 %J MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings %K %P 462-465 %T Expanding the range of application of laser structured 3D-MID by using ceramic substrate materials,Erweiterung des Einsatzbereiches von laserstrukturierten 3D-MID durch die Verwendung von keramischen Substratmaterialien

@article{Kern2021, added-at = {2024-07-25T16:43:25.000+0200}, author = {Schilling, A. and Ninz, P. and Petillon, S. and Weser, S. and Kn{\"o}ller, A. and Eberhardt, W. and G{\"u}nther, T. and Kern, F. and Zimmermann, A.}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2dbd19e76db192c2248922b3039901c2b/fkern}, interhash = {6630370b5ed9ea9919a3f4b9a6261dee}, intrahash = {dbd19e76db192c2248922b3039901c2b}, journal = {MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings}, keywords = {}, pages = {462-465}, timestamp = {2024-07-25T14:43:25.000+0200}, title = {Expanding the range of application of laser structured 3D-MID by using ceramic substrate materials,Erweiterung des Einsatzbereiches von laserstrukturierten 3D-MID durch die Verwendung von keramischen Substratmaterialien}, year = 2021 }