C. Bett, K. Frenner, S. Reichelt, and W. Osten. Optical Measurement Systems for Industrial Inspection XIII, 12618, page 126181C. International Society for Optics and Photonics, SPIE, (2023)
J. Liu, Y. Jeong, T. Ly, Ö. Atmaca, I. Park, and P. Pott. Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität 23. – 25. Oktober 2023, Dresden, page 65-69. VDE, (2023)