Schichten schreiben Geschichte : die Schlüsselfunktion der Materialherstellung in der Halbleitertechnologie (unter besonderer Berücksichtigung der Molekularstrahlepitaxie)
C. Diblitz. Universität Stuttgart, Berlin, Dissertation, (2021)
Please log in to take part in the discussion (add own reviews or comments).
Cite this publication
More citation styles
- please select -
%0 Thesis
%1 diblitz2021schichten
%A Diblitz, Christina
%B Stuttgarter Beiträge zur Wissenschafts- und Technikgeschichte
%C Berlin
%D 2021
%I Logos Verlag
%K
%N 15
%T Schichten schreiben Geschichte : die Schlüsselfunktion der Materialherstellung in der Halbleitertechnologie (unter besonderer Berücksichtigung der Molekularstrahlepitaxie)
%@ 978-3-8325-5273-2
@phdthesis{diblitz2021schichten,
added-at = {2023-08-31T15:00:12.000+0200},
address = {Berlin},
author = {Diblitz, Christina},
biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2f62d347bba9746df28caa93c47c37817/puma-wartung},
eventdate = {2020-11-18},
interhash = {9ce009e1bcd5155c16f489c4e0a17fa9},
intrahash = {f62d347bba9746df28caa93c47c37817},
isbn = {978-3-8325-5273-2},
keywords = {},
language = {ger},
number = 15,
publisher = {Logos Verlag},
school = {Universität Stuttgart},
series = {Stuttgarter Beiträge zur Wissenschafts- und Technikgeschichte},
supervisor = {Hentschel, Klaus},
supervisorgnd = {130420085},
timestamp = {2023-08-31T13:00:12.000+0200},
title = {Schichten schreiben Geschichte : die Schlüsselfunktion der Materialherstellung in der Halbleitertechnologie (unter besonderer Berücksichtigung der Molekularstrahlepitaxie)},
type = {Dissertation},
year = 2021
}
