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@phdthesis{ferreraspaz2019erweiterungen, added-at = {2023-08-31T16:36:20.000+0200}, address = {Stuttgart}, author = {Ferreras Paz, Valeriano}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/26d4e437b4daee97e18266b93af061546/puma-wartung}, eventdate = {2019-09-27}, interhash = {9af67ea43190787117010b803c44de0d}, intrahash = {6d4e437b4daee97e18266b93af061546}, isbn = {978-3-923560-99-8}, keywords = {}, language = {ger}, number = 100, publisher = {Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart}, school = {Universität Stuttgart}, series = {Berichte aus dem Institut für Technische Optik}, supervisor = {Osten, Wolfgang}, supervisorgnd = {103624623X}, timestamp = {2023-08-31T14:36:20.000+0200}, title = {Erweiterungen der Scatterometrie zur modellbasierten optischen Nanometrologie von Halbleiterstrukturen}, type = {Dissertation}, year = 2019 }