%0 Conference Paper %1 hey1996finite %A Hey, N. %A Schumacher, A. %A Lang, Walter %A Sandmaier, Hermann %B Fachtagung Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik %C München %D 1996 %I Institut für Technologie- und Wissenstransfer an der Fachhochschule München e.V. %K fis liste ubs_30119 %P B-1 %T Finite Elemente basierte Entwicklung einer zweiachsig neigungssensitiven Mikrostruktur in <110> Silizium

@inproceedings{hey1996finite, added-at = {2023-08-21T15:14:23.000+0200}, address = {München}, author = {Hey, N. and Schumacher, A. and Lang, Walter and Sandmaier, Hermann}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2dfb140aa03934db48d3449250400197d/unibiblio-4}, booktitle = {Fachtagung Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik}, eventdate = {1996-03-12}, eventtitle = {Fachtagung Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik}, interhash = {4ec1cf3b2edfda6cfa1f02d138679bc5}, intrahash = {dfb140aa03934db48d3449250400197d}, keywords = {fis liste ubs_30119}, language = {ger}, pages = {B-1}, publisher = {Institut für Technologie- und Wissenstransfer an der Fachhochschule München e.V.}, timestamp = {2023-09-01T10:41:40.000+0200}, title = {Finite Elemente basierte Entwicklung einer zweiachsig neigungssensitiven Mikrostruktur in <110> Silizium}, venue = {München}, year = 1996 }