Finite Elemente basierte Entwicklung einer zweiachsig neigungssensitiven Mikrostruktur in <110> Silizium
N. Hey, A. Schumacher, W. Lang, and H. Sandmaier. Fachtagung Simulation mit der Finite-Element-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, page B-1. München, Institut für Technologie- und Wissenstransfer an der Fachhochschule München e.V., (1996)
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