%0 Conference Paper %1 sandmaier1986reduzierung %A Sandmaier, Hermann %A Obermeier, E. %B Sensoren, Technologie und Anwendung : Vorträge der 3. Fachtagung %C Berlin %D 1986 %I VDE-Verl. %K %N 93 %T Reduzierung der Nichtlinearität von Siliziumdrucksensoren für kleine Drücke %@ 3-8007-1457-4

@inproceedings{sandmaier1986reduzierung, added-at = {2023-09-01T10:43:02.000+0200}, address = {Berlin}, author = {Sandmaier, Hermann and Obermeier, E.}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/28d2833b2a38a09b2ffb73dd682c95772/unibiblio-4}, booktitle = {Sensoren, Technologie und Anwendung : Vorträge der 3. Fachtagung}, eventdate = {1986-03-17/1986-03-19}, eventtitle = {3. Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung}, interhash = {d78adebf30534117c703486dbe06cb6a}, intrahash = {8d2833b2a38a09b2ffb73dd682c95772}, isbn = {3-8007-1457-4}, keywords = {}, language = {ger}, number = 93, publisher = {VDE-Verl.}, series = {NTG-Fachberichte}, timestamp = {2023-09-01T08:43:02.000+0200}, title = {Reduzierung der Nichtlinearität von Siliziumdrucksensoren für kleine Drücke}, venue = {Bad Nauheim}, year = 1986 }