Abstract
Die Mikromechanik ermöglicht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bisher unerreicht hoher Präzision. Bei dieser Technik werden neben speziellen Ätzverfahren verschiedene hochentwickelte Herstellungsverfahren von mikroelektronischen Bauelementen und Schaltkreisen eingesetzt. Die starke Ausrichtung der Mikromechanik auf das Material Silizium und dessen Bearbeitungstechnologien hat sowohl technische als auch wirtschaftliche Gründe. Aus Silizium werden ganz neue Generationen von mechanischen Elementen, zum Beispiel für die Sensorik und Aktorik, mit immer kleineren Abmessungen und erhöhter Leistungsfähigkeit gefertigt. In Kombination mit der Integrierten Optik und der Faseroptik können leistungsfähige periphere Komponenten für die Kommunikations- und Informationstechnik entwickelt werden.
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