%0 Thesis %1 Kucher.1992.Abtragen %A Kucher, M. %D 1992 %K Ablation Arnold,Johannes Ceramics Laser ProcessDevelopment Studienarbeit %N IFSW92-34 %T Abtragen von Keramik mittels KrF-Excimerlaser unter Einsatz einer Gaskammer zur Erzeugung verschiedener Gasatmosphären

@mastersthesis{Kucher.1992.Abtragen, added-at = {2019-04-09T14:36:12.000+0200}, author = {Kucher, M.}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2f14b6790f653cf5359fb01fdac1adae6/florianfetzer}, interhash = {7300388d79edd548af7970fdaf610dd6}, intrahash = {f14b6790f653cf5359fb01fdac1adae6}, keywords = {Ablation Arnold,Johannes Ceramics Laser ProcessDevelopment Studienarbeit}, month = aug, number = { IFSW92-34 }, timestamp = {2019-04-09T12:36:12.000+0200}, title = {Abtragen von Keramik mittels KrF-Excimerlaser unter Einsatz einer Gaskammer zur Erzeugung verschiedener Gasatmosphären}, year = 1992 }