%0 Thesis %1 Breitling.1998.Untersuchung %A Breitling, Detlef %D 1998 %K Plasma Dausinger,Friedrich Laser from:florianfetzer ProcessDevelopment Diplomarbeit Ablation %N IFSW98-20 %T Untersuchung der Plasmaeigenschaften beim Abtragen heterogener dielektrischer Stoffe mit gepulster Laserstrahlung

@mastersthesis{Breitling.1998.Untersuchung, added-at = {2019-04-09T11:59:58.000+0200}, author = {Breitling, Detlef}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2ab61567cb3d608f6a32a001ab9eb6824/ifsw}, interhash = {9e2263c415a0ab0b815db01a37f51817}, intrahash = {ab61567cb3d608f6a32a001ab9eb6824}, keywords = {Plasma Dausinger,Friedrich Laser from:florianfetzer ProcessDevelopment Diplomarbeit Ablation}, month = jul, number = { IFSW98-20 }, timestamp = {2019-04-09T09:59:58.000+0200}, title = {Untersuchung der Plasmaeigenschaften beim Abtragen heterogener dielektrischer Stoffe mit gepulster Laserstrahlung}, year = 1998 }