%0 Conference Paper %1 drost1990mikrosensorik %A Drost, Susanne %A Sandmaier, Hermann %B Mikroelektronik und Sicherheit : Vorträge der GME-Fachtagung %C Berlin %D 1990 %E Stephanblome, Heinrich %I Vde-Verl. %K fis liste ubs_30119 %N 7 %R 10.1524/teme.1989.56.jg.245 %T Mikrosensorik - Überblick, Trends, Sicherheitsaspekte %X Der Stand der Technik und die Vorteile, die Miniaturisierungstechniken bieten, werden näher erläutert. Am Beispiel mikromechanischer Sensoren zur Messung physikalischer und chemischer Größen werden innovative Konzepte sowie Beispiele zukünftiger mikromechanischer Systeme, die neben den detektierenden Elementen auch elektronische Komponenten zur Signalaufbereitung aufweisen, vorgestellt. %@ 3-8007-1734-4

@inproceedings{drost1990mikrosensorik, abstract = {Der Stand der Technik und die Vorteile, die Miniaturisierungstechniken bieten, werden näher erläutert. Am Beispiel mikromechanischer Sensoren zur Messung physikalischer und chemischer Größen werden innovative Konzepte sowie Beispiele zukünftiger mikromechanischer Systeme, die neben den detektierenden Elementen auch elektronische Komponenten zur Signalaufbereitung aufweisen, vorgestellt.}, added-at = {2023-08-21T15:14:23.000+0200}, address = {Berlin}, author = {Drost, Susanne and Sandmaier, Hermann}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2836d8da9572e987882731994e3f956a2/unibiblio-4}, booktitle = {Mikroelektronik und Sicherheit : Vorträge der GME-Fachtagung}, doi = {10.1524/teme.1989.56.jg.245}, editor = {Stephanblome, Heinrich}, eventdate = {1990-10-09/1990-10-10}, eventtitle = {GME-Fachtagung Mikroelektronik und Sicherheit 1990}, interhash = {d3cdd6714ecd0c4c5f2af03ff4510423}, intrahash = {836d8da9572e987882731994e3f956a2}, isbn = {3-8007-1734-4}, keywords = {fis liste ubs_30119}, language = {ger}, number = 7, publisher = {Vde-Verl.}, series = {GME-Fachbericht}, timestamp = {2023-09-01T10:42:58.000+0200}, title = {Mikrosensorik - Überblick, Trends, Sicherheitsaspekte}, venue = {Essen}, year = 1990 }