%0 Conference Paper %1 christine-ksif-hsabdsufs2015 %A Harendt, Christine %B MikroSystemTechnik Kongress 2015 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe %C Berlin %D 2015 %E VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem-und Feinwerktechnik (GMM) %I VDE-Verlag %K INES %P 96-99 %T Komplexe Systeme in Folie : Heterogene Systemintegration auf Basis dünner Si-Chips und flexibler Substrate %@ 978-3-8007-4100-7

@inproceedings{christine-ksif-hsabdsufs2015, added-at = {2019-03-06T16:32:24.000+0100}, address = {Berlin}, author = {Harendt, Christine}, biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/2827952fe2be0ba195f1af61819557054/kevin.konnerth}, booktitle = {MikroSystemTechnik Kongress 2015 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe}, editor = {VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem-und Feinwerktechnik (GMM)}, eventdate = {2015-10-26/2015-10-28}, eventtitle = {MikroSystemTechnik 2015 : MikroSystemTechnik Kongress 2015}, interhash = {c1821c329c401ae5d07b7a6bfa3a6c06}, intrahash = {827952fe2be0ba195f1af61819557054}, isbn = {978-3-8007-4100-7}, keywords = {INES}, pages = {96-99}, publisher = {VDE-Verlag}, timestamp = {2019-03-06T15:37:24.000+0100}, title = {Komplexe Systeme in Folie : Heterogene Systemintegration auf Basis dünner Si-Chips und flexibler Substrate}, venue = {Karlsruhe, Germany}, year = 2015 }