%0 Thesis
%1 tropper2014entwicklung
%A Tropper, Eva-Maria
%D 2014
%K INES
%T Entwicklung und Untersuchung von Rückschleifverfahren zur Herstellung ultra-dünner Chips und Membranmasken
@phdthesis{tropper2014entwicklung,
added-at = {2019-03-06T18:28:33.000+0100},
author = {Tropper, Eva-Maria},
biburl = {https://puma.ub.uni-stuttgart.de/bibtex/22b090747bfa0032f044f064e969be1e3/kevin.konnerth},
interhash = {800f272ca218d669e55d97a53827f980},
intrahash = {2b090747bfa0032f044f064e969be1e3},
keywords = {INES},
month = oct,
school = {Universität Stuttgart},
timestamp = {2019-03-06T17:28:33.000+0100},
title = {Entwicklung und Untersuchung von Rückschleifverfahren zur Herstellung ultra-dünner Chips und Membranmasken},
type = {Masterarbeit},
year = 2014
}