Diese Arbeit untersucht Charakteristika optischer Verluste anhand der Siliziumnitrid-Wellenleiter zweier verschiedener, vom Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS Chips) hergestellter Chips. Es wurde ein mathematisches Modell vorgestellt, mit dem sich Streuverluste in geraden Wellenleitern beschreiben und simulieren lassen. Unter Verwendung der für Chips angepassten Cut-Back-Methode wurden Messungen für die Wellenlängen 488 nm, 532 nm und 870 nm durchgeführt.
This thesis investigates characteristics of optical losses using the silicon nitride waveguides of two different chips manufactured by the Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS Chips). A mathematical model was presented that can be used to describe and simulate scattering losses. Using the cut-back method adapted for chips, measurements were carried out for the wavelengths 488 nm, 532 nm and 870 nm.
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