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Systemtechnik für Chemosensoren

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Mikro-Elektronik, 5 (3): 40-42 (1991)

Abstract

Ein wesentliches Problem bei der Anwendung chemischer Sensoren ist die mangelnde Selektivität und Stabilität. Durch die Anwendung physikalische Prinzipien und Mikrosystemtechniken können die Eigenschaften dieser Sensoren verbessert werden. Ein Modellsystem aus Messung großformigen SOtief2 mit einem dielektrischen und einem masssensitiven Sensor wird vorgestellt.

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