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J. Liu, Y. Jeong, T. Ly, Ö. Atmaca, I. Park, and P. Pott. Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität 23. – 25. Oktober 2023, Dresden, page 65-69. VDE, (2023)
J. Liu, Y. Jeong, T. Ly, O. Atmaca, I. Park, and P. Pott. Mikroelektronik / Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität 23. – 25. Oktober 2023, Dresden, MikroSystemTechnik Kongress 2023, page 65-69. VDE, (2023)