Focused ion beam writing of submicron structures into coated mold inserts
H. Ruehl, M. Haub, S. Sahakalkan, T. Guenther, und A. Zimmermann. Proceedings of the 21st international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology, Seite 137-140. european society for precision engineering and nanotechnology, (Juni 2021)
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