Flüssigkeitsbasierte Mikromontage mit Nanostrukturen; Liquid-based Mikroassembly with Nanostructures
, , , und .
Mikro-Nano-Integration, 60, VDE-Verl., (2009)

Die Handhabung, Positionierung und Montage von Mikrochips, welche kleiner als 500 $\mu$m sind, stellen eine Herausfor-derung für die industrielle Produktion dar. In den dargestellten Forschungsarbeiten zur Mikro-Nano-Integration wird die flüssigkeitsbasierte Montage von Mikrochips, welche auf Effekten der Selbstorganisation beruht, behandelt. Diese Selbstorganisation wird durch den Einsatz von Flüssigkeiten sowie mikro- und nanostrukturierten Oberflächen erreicht und stellt eine Erweiterung und Alternative zum gängigen Pick-and-Place-Verfahren dar. Im Rahmen der Untersuchun-gen wurden Simulationen, Experimente und mathematische Berechnungen durchgeführt um eine optimale Dimensio-nierung der strukturierten und konträren Oberflächenbereiche zu ermitteln. Die Auswirkungen eines atmosphärischen Plasmas auf das Benetzungsverhalten einer Polykarbonatoberfläche wurden untersucht. Die benötigte Zeit für die Posi-tionierung des Flüssigkeitstropfens, welcher die Ausrichtung des Mikrochips durchführt liegt im Bereich weniger Milli-sekunden. Abstract The handling, positioning and assembly of microchips, which are smaller than 500 $\mu$m, are representing a challenge for industrial production. In the represented research work to the Micro-Nano-Integration the liquid-based assembly of microchips, which is based on effects of the self organization, is treated. This self organization is reached by the use of liquids as well as micro- and nanostructured surfaces and represents an extension and an alternative to the usual Pick and Place procedure. Simulations, experiments and mathematical computations were used to determine an optimal dimen-sioning of the structured and contrary surface domains. The effects of atmospheric plasma on the wetting behavior of a polycarbonate surface were examined. The necessary time for the positioning of the droplet which accomplishes the ad-justment of the microchip is in the range of some milliseconds.
  • @unibiblio-2
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