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Development and Proof of Concept of a Miniaturized MEMS Quantum Tunneling Accelerometer Based on PtC Tips by Focused Ion Beam 3D Nano-Patterning

, , , , und . Sensors 21 (11): 3795 (2021)

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DOI:
10.3390/s21113795
BibTeX-Schlüssel:
haub2021development
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