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SFB 349 "Korrekturspiegelsystem".Aufbau und Test eines hochdynamischen Korrekturspiegelsystems zur Lagekorrektur des CO2-Laserstrahls in Laserbearbeitungsmaschinen. SFB 349 "Korrekturspiegelsystem".Aufbau und Test eines hochdynamischen Korrekturspiegelsystems zur Lagekorrektur des CO2-Laserstrahls in Laserbearbeitungsmaschinen.

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(1999)

Abstract

Aufbau und Test eines hochdynamischen Korrekturspiegelsystems zur Lagekorrektur des CO2-Laserstrahls in Laserbearbeitungsmaschinen. Durch das Korrekturspiegelsystem sollen mechanische Verformungen der Maschine bzw. Fundamentschwingungen erkannt und ausgeregelt werden.

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